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技術(shù)中心成功研制出大尺寸高致密度二硫化鉬濺射靶材
作者:崔玉青 日期:2017年12月11日 00:00 人氣:

  日前,技術(shù)中心成功研制出大尺寸、高致密度二硫化鉬濺射靶材產(chǎn)品,并開始客戶的使用認證。
  二硫化鉬靶材主要用于濺射制備二硫化鉬薄膜產(chǎn)品。二硫化鉬濺射薄膜與離子鍍膜、刷鍍膜粘結(jié)膜相比,具有更高的耐磨壽命和更低的運動摩擦系數(shù),主要用于空間精密機械,包括衛(wèi)星活動部件和精密滾動軸承等真空潤滑。由于二硫化鉬在潮濕空氣環(huán)境中易吸濕導致其潤滑性能下降,且抗氧化性能較弱,因此主要應用于真空和沒有水蒸汽的環(huán)境中。
  近年來,研究人員發(fā)現(xiàn),在二硫化鉬薄膜濺射過程中加入其他元素可增加薄膜的抗氧化性和耐濕性能。這一發(fā)現(xiàn)使二硫化鉬薄膜的應用領域從真空環(huán)境拓寬至大氣環(huán)境。因此,市場對二硫化鉬靶材的需求量和質(zhì)量都提出更高的要求。技術(shù)中心從方案制定、工藝調(diào)整、工藝優(yōu)化整個研究過程中,將理論與經(jīng)驗相結(jié)合、不斷摸索前行,最終研制出長度大于300mm、寬度大于200mm、相對密度大于95%的大尺寸、高致密度二硫化鉬靶材產(chǎn)品,各項指標趕超市場水平。日前,客戶已對二硫化鉬靶材產(chǎn)品的使用性能展開測試評價。
  二硫化鉬靶材是一種高附加值產(chǎn)品。該產(chǎn)品的成功研制,標志著技術(shù)中心又一依托科研項目制備的新產(chǎn)品取得實質(zhì)性突破,也為公司再增加一新產(chǎn)品種類。

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